آئن بیم اینچنگ مشین

آئن بیم اینچنگ مشین

آئن بیم اینچنگ (IBE) ایک پتلی فلم کی تکنیک ہے جو آئن سورس کا استعمال کسی سبسٹریٹ پر مواد کو ہٹانے کے عمل کو انجام دینے کے لیے کرتی ہے۔ IBE آئن بیم سپٹرنگ کی ایک قسم ہے اور، چاہے اسے پری کلین یا پیٹرن والی اینچنگ کے لیے استعمال کیا جائے، یہ 3D ڈھانچے کی بہترین چپکنے اور عین مطابق تشکیل کو یقینی بنانے میں مدد کرتا ہے۔

یہ مشین ایک انتہائی کولیمیٹڈ، اعلیٰ درستگی، اور انتہائی قابل اعتماد نانوسکل فزیکل اینچنگ آلات کا حل ہے۔

نانوائر کی چوڑائی کی درستگی اور ملٹی ٹائپ ہائی ایسپیکٹ ریشو پیٹرن ایچنگ کو سپورٹ کرتا ہے، مواد کی قسم، ہائی کولیمیشن ایچنگ، ہائی ایچنگ ریٹ، اور اچھی ریپیٹ ایبلٹی تک محدود نہیں۔

پلانر گریٹنگز، بڑے رقبے کی خصوصی گریٹنگز، DOE ڈفریکشن اجزاء، MEMS ڈیوائسز، پتلی فلمی سرکٹس، فوٹوونک انٹیگریٹڈ ڈیوائسز

• بنیادی جزو آئن ماخذ آزادانہ طور پر قابل کنٹرول ہے۔
• اختیاری کام کرنے کے طریقوں کے ساتھ، IBE اور RIBE کے ساتھ ہم آہنگ۔
• 20nm تک لائن کی چوڑائی کے سائز کے ساتھ مختلف مواد کی اعلیٰ درستگی کے لیے موزوں ہے۔
• اچھی عمل کی صلاحیت اور پیداوار کی وشوسنییتا.
• SiO/Si grating کی نیچے اور سائیڈ کی دیواریں سیدھی ہیں۔
• بیم توانائی اور آئن بہاؤ کو آزادانہ طور پر کنٹرول کرنے کی اجازت دیتا ہے۔
• یہ عمل کم دباؤ والے کام کرنے والے ماحول میں ہوتا ہے۔
• کنٹرول شدہ انیسوٹروپک اینچنگ تیار کرتا ہے۔
• تمام معلوم مواد کو اینچ کرنے کا ذریعہ فراہم کرتا ہے۔
• نمونہ/ماسک کی سطح کے نسبت ایک متغیر اینچ بیم زاویہ کی بدولت زاویہ پروفائل کنٹرول کی اجازت دیتا ہے۔
• پروفائل/سائیڈ وال کنٹرول اور فیچر کی تشکیل کی اجازت دیتا ہے۔
• ری ایکٹیو گیس کی صلاحیتیں ری ایکٹیو پرجاتیوں کے ذریعے ایچنگ کی اعلی شرح اور مختلف مواد کی اعلی سلیکٹیوٹی ایچنگ کو قابل بناتی ہیں۔

ڈاؤن لوڈ، اتارنا ٹیگ: آئن بیم اینچنگ مشین، چین آئن بیم اینچنگ مشین مینوفیکچررز، فیکٹری